Дудкин А. А. Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А. А. Дудкин, А. В. Инютин, А. В. Отвагин // Искусств. интеллект. - 2008. - № 4. - С. 348-352. - Библиогр.: 11 назв. - рус.
Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего автоматического контроля оригиналов топологии.
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"