Філімонов С. О. Побудова моделі п'єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п'єзоелементів / С. О. Філімонов // Оптико-електрон. інформ.-енерг. технології. - 2008. - № 2. - С. 126-129. - Бібліогр.: 7 назв. - укp.
Розглянуто проблеми створення п'єзосканерів. Запропоновано і досліджено конструкцію п'єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п'езоелементів. Побудовано і досліджено модель цього сканера за допомогою пакета програми FemLab 3.2.
Шифр НБУВ: Ж23882Пошук видання у каталогах НБУВДодаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"