РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000211084<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Сминтина В. А. 
Порівняльний аналіз механізмів дефектоутворення в кремнії при іонному легуванні та оксидуванні / В. А. Сминтина, І. Р. Яцунський, О. А. Кулініч, М. А. Глауберман // Фізика і хімія твердого тіла. - 2008. - 9, № 4. - С. 701-705. - Бібліогр.: 11 назв. - укp.

На підставі використання сучасних методів дослідження в комбінації з методами хімічного виборчого травлення вивчено структуру приповерхневих шарів кремнію після оксидування й іонного легування та проведено порівняльний аналіз механізмів дефектоутворення за цих процесів.


Індекс рубрикатора НБУВ: В379.222

Рубрики:
 Дефекти напівпровідників 

Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського