Розглянуто питання обгрунтованості застосування статистичних методів для розробки методик контролю якості кремнієвих епітаксійних композицій. Показано, що розподіл вимірюваних значень товщини, питомого електричного опору й щільностей структурних дефектів істотно відхиляються від нормального закону. Це свідчить про те, що звичайні методики, які грунтуються на параметричних статистичних методах, можуть призводити до суттєвих похибок одержуваних результатів.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"