Крикун К. Ю. Разработка пленочных электродов ITO для оптоэлектронных приборов / К. Ю. Крикун, Г. С. Хрипунов, Н. А. Ковтун, Е. К. Белоногов // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2009. - № 1. - С. 55-60. - Библиогр.: 9 назв. - рус.С целью создания прозрачных пленочных электродов, перспективных для использования в современных изделиях оптоэлектроники, исследовано влияние состава мишени, мощности магнетрона и температуры осаждения на кристаллическую структуру, электрические, оптические свойства и фактор качества слоев оксидов индия и олова, полученных методом нереактивного магнетронного распыления на постоянном токе. Установлено, что максимальный фактор качества <$E roman {Ф~=~4,79~cdot~10 sup -2~Ом sup -1}> наблюдается при распылении мишени, содержащей 90 вес. % <$E roman {In sub 2 O sub 3}> - 10 вес. % <$E roman SnO sub 2>, если температура осаждения составляет 300 <$E symbol Р>C, а удельная мощность магнетрона - 0,4 <$E roman {Вт "/" см sup 2}>. Індекс рубрикатора НБУВ: З848.43-04
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|