С целью создания прозрачных пленочных электродов, перспективных для использования в современных изделиях оптоэлектроники, исследовано влияние состава мишени, мощности магнетрона и температуры осаждения на кристаллическую структуру, электрические, оптические свойства и фактор качества слоев оксидов индия и олова, полученных методом нереактивного магнетронного распыления на постоянном токе. Установлено, что максимальный фактор качества <$E roman {Ф~=~4,79~cdot~10 sup -2~Ом sup -1}> наблюдается при распылении мишени, содержащей 90 вес. % <$E roman {In sub 2 O sub 3}> - 10 вес. % <$E roman SnO sub 2>, если температура осаждения составляет 300 <$E symbol Р>C, а удельная мощность магнетрона - 0,4 <$E roman {Вт "/" см sup 2}>.

• Хрипунов Геннадій Семенович (1963–) (фізико-математичні науки)
• Ковтун Назар Анатолійович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"