Баранов О. О. Распределение плотности ионного тока по подложке в системе для вакуумно-дугового осаждения покрытий / О. О. Баранов // Вопр. проектирования и пр-ва конструкций летат. аппаратов. - 2008. - Вып. 3. - С. 28-32. - Библиогр.: 20 назв. - рус.Исследовано влияние давления реактивного газа на распределения плотности ионного тока по подложке, плоскость которой расположена нормально к потоку плазмы от вакуумно-дугового источника. При увеличении давления реактивного газа от 0,01 до 1,0 Па максимальная плотность ионного тока уменьшалась со 160 до 38 <$E roman {А "/" м} sup 2>, а неоднородность уменьшалась с существенно неоднородного для давления 0,01 Па до практически однородного распределения с величиной 38 <$E roman {А "/" м} sup 2> для давления 1,0 Па. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033.05-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж69605 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|