Исследовано влияние давления реактивного газа на распределения плотности ионного тока по подложке, плоскость которой расположена нормально к потоку плазмы от вакуумно-дугового источника. При увеличении давления реактивного газа от 0,01 до 1,0 Па максимальная плотность ионного тока уменьшалась со 160 до 38 <$E roman {А "/" м} sup 2>, а неоднородность уменьшалась с существенно неоднородного для давления 0,01 Па до практически однородного распределения с величиной 38 <$E roman {А "/" м} sup 2> для давления 1,0 Па.

• Баранов Олег Олегович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"