Разработана феноменологическая модель формирования дисилицидной пленки титана на монокристаллическом кремнии при низкоэнергетическом термоионном осаждении титана. На основании предложенной модели оценены: концентрации вакансий в силицидном слое, инициируемых ионной бомбардировкой в процессе вакуумной конденсации титана на монокристаллический кремний; скорость движения диффузионной границы; время формирования силицидной пленки заданной толщины. Оценены напряжения и плотность дислокаций несоответствия на границе раздела пленка - подложка. Определено, что основной вклад в остаточные напряжения вносит несоответствие решеток кремния и дисилицида титана.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"