Досліджено хімічну взаємодію CdTe, <$Eroman {Cd sub 0,22 Hg sub 0,78 Te}>, GaAs та InAs з водними розчинами <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HNO sub 3 }>, <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~H sub 3 PO sub 4 }>, <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~H sub 2 SO sub 4 }>, <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HCl}> та <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HNO sub 3 (HCl)}> - органічний розчинник (етиленгліколь, лататна, тартратна та цитратна кислоти). За відтворюваних гідродинамічних умов з використанням диску, що обертається, досліджено кінетику та механізм процесів їх хімічного розчинення. За результатами експериментів з використанням математичного планування на симплексі в усіх системах побудовано поверхні однакових швидкостей травлення (28 діаграм Гібса), визначено межі існування полірувальних, неполірувальних та селективних розчинів. Встановлено залежності швидкості розчинення від температури та швидкості перемішування розчину та визначено лімітувальні стадії процесу. Виявлено, що характер концентраційних залежностей швидкостей розчинення досліджуваних напівпровідникових сполук у водних розчинах <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HNO sub 3 (H sub 2 SO sub 4 ,~H sub 3 PO sub 4 )}> може бути обумовлений утворенням в травильних композиціях пероксокислот <$Eroman HNO sub 4>, <$Eroman {H sub 2 SO sub 5 }> та <$Eroman {H sub 3 PO sub 5 }>. Виявлено вплив природи мінеральної кислоти та розчинника (наяності певної кількості карбоксильних груп в органічній кислоті) на швидкість розчинення монокристалів CdTe, <$Eroman {Cd sub 0,22 Hg sub 0,78 Te}>, GaAs та InAs, полірувальні властивості розчинів та якість обробленої поверхні.

• Лукіянчук Едуард Михайлович (хімічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"