Проведено експериментальне дослідження процесів хімічного розчинення CaAs та GaSb у водних галогенвиділяючих розчинах <$Eroman {HNO sub3 ~-~HCl(HBr)}>-органічна кислота. На підставі одержаних результатів розроблено травильні композиції та методики обробки поверхні галій арсеніду та галій стибіду. З використанням методу математичного планування експерименту побудовано 21 проекцію поверхонь однакових швидкостей травлення для розчинення GaAs та GaSb в розчинах дванадцяти систем водних розчинів <$Eroman {HNO sub 3 ~-~HCl(HBr)}>-органічна кислота. Встановлено вплив органічних розчинників (ацетатної, лактатної, цитратної, оксалатної та тартратної кислот) на процес хімічного травлення та поліруючі властивості розчинів. Визначено, що для GaSb найкращі поліровані поверхні можна одержати у разі використання травильних композицій <$Eroman {HNO sub 3 ~-~HCl}>-лактатна кислота, а для <$Eroman {GaAs~-~HNO sub 3 ~-~HBr}>-цитратна кислота. Для хімічної обробки GaAs вперше запропоновано використовувати бромвиділяючі травильні композиції на основі водних розчинів <$Eroman {HNO sub 3 ~-~HBr}>, в яких бром виділяється в результаті взаємодії вихідних компонентів, а його вміст може до певної міри регулюватися введенням різноманітних органічних розчинників. На підставі аналізу температурних залежностей швидкості розчинення в досліджуваних травильних композиціях встановлено існування компенсаційної залежності в кінетиці хімічного травлення GaSb та GaAs у водних розчинах <$Eroman {HNO sub 3 ~-~HCl(HBr)}>-розчинник.

• Чернюк Олександр Сергійович (хімічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"