Досліджено фізико-хімічну взаємодію монокристалів CdTe і твердих розчинів <$Eroman {Zn sub 0,04 Cd sub 0,96 Te}>, <$Eroman {Zn sub 0,2 Cd sub 0,8 Te}>, <$Eroman Cd sub 0,21 Hg sub 0,79 Te}> з бромвидільними сумішами <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HBr}>-розчинник. З урахуванням експериментальних результатів розроблено травильні композиції та режими обробки поверхні досліджуваних напівпровідникових матеріалів. З використанням методу математичного планування експерименту побудовано 20 поверхонь однакових швидкостей травлення (діаграми Гіббса) CdTe і твердих розчинів <$Eroman {Zn sub 0,04 Cd sub 0,96 Te}>, <$Eroman {Zn sub 0,2 Cd sub 0,8 Te}> та <$Eroman {Cd sub 0,21 Hg sub 0,79 Te}> в розчинах п'яти систем: <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HBr~-~H sub 2 O}>, <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HBr}>-етиленгліколь, <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HBr}>-тертратна, <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HBr}>-цитратна та <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HBr}>-лактатна кислоти. У кожній з досліджуваних систем визначено кінетичні закономірності процесу розчинення даних напівпровідників і встановлено межі існування областей полірувальних, неполірувальних і селективних розчинів. Показано вплив природи окисника та розчинника на швидкість хімічного розчинення, полірувальні властивості розчинів та якість полірованої поверхні CdTe та твердих розчинів <$Eroman {Zn sub 0,04 Cd sub 0,96 Te}>, <$Eroman {Zn sub 0,2 Cd sub 0,8 Te}> та <$Eroman {Cd sub 0,21 Hg sub 0,79 Te}>. Встановлено, що травлення поверхні твердих розчинів <$E{ roman Zn} sub x { roman Cd} sub {1~-~x } roman Te> і <$E{ roman Cd} sub x { roman Hg} sub {1~-~x } roman Te> відбувається дещо швидше,

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Гнатів Іван Іванович (хімічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"