На підставі результатів експериментальних досліджень процесів хімічної взаємодії поверхні монокристалів CdTe різних кристалографічних напрямків з йодовмісними (<$Eroman {I sub 2 ~-~CH sub 3 OH,~I sub 2 ~-~ДМФА}> та йодовиділяючими розчинами (<$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HI}> - розчинник) розроблено склади травильних композицій і методики обробки поверхні CdTe. З використанням математичного планування експерименту побудовано поверхні однакових швидкостей травлення зазначених напівпровідників у досліджених ситемах розчинів. Як органічний компонент травильних композицій використано метанол, етиленгліколь, цитратну, тартратну кислоти, а також суміші етиленгліколю та цитратної кислоти. Установлено вплив органічного розчинника на процес хімічного травлення та полірувальні властивості травників, до складу яких вони належать. Досліджено кінетичні обмеження процесу розчинення. Визначено межі існування областей полірувальних, неполірувальних і селективних розчинів у кожній дослідженій системі. Показано вплив кристалографічної орієнтації поверхні монокристалічного CdTe на швидкість і характер її взаємодії з розчинами розроблених травильних композицій. Визначено залежність розмірів областей полірувальних розчинів у потрійних йодовиділяючих системах від орієнтації монокристалічної поверхні зразків. Установлено існування компенсаційної залежності у кінетиці хімічного травлення CdTe водними розчинами досліджених систем. На підставі аналізу кінетичних вимірювань, металографічного та профілографічного дослідження, а також рентгенівської фотоелектронної спектроскопії проведено оптимізацію складів травників і технологічних режимів

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Іваніцька Валентина Григорівна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"