Досліджено формотворчі процеси на межі поділу метал/карбід кремнію під впливом активних видів обробки. Встановлено відсутність структурних і фазових перетворень в аморфних і квазіаморфних плівках <$Eroman TiB sub x>, (<$Eroman ZrB sub x>) в результаті швидкої термічної обробки (ШТО) до температури <$E1~000~ symbol Р roman C>. Виявлено стійкість структур з бар'єром Шоткі на їх основі щодо ШТО до температури <$E1~000~ symbol Р roman C> та опромінення <$Egamma>-квантами <$Enothing sup 60 roman Co> (до <$E10 sup 9 ~ roman P>). Для формування омічного контакту до SiC з контактним опором використано термічні й атермічні методи обробки, за умови застосування яких виявлено однакові показники питомого опору та термічної стійкості контактів.

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Кудрик Ярослав Ярославович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"