Мельник К. І. Гранична роздільна здатність зондоформуючих систем на базі параметричних мультиплетів квадрупольних лінз : Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук / К. І. Мельник; Ін-т приклад. фізики НАН України. - Суми, 2007. - 23 c. - укp.Розв'язано задачу підвищення просторової роздільної здатності іонних мікрозондів з енергією від одного до 10 МеВ і струмом іонних мікрозондів з енергією від одного до 10 МеВ і струмом близько 100 пкА. Розглянуто процеси формування іонних зондів. Розвинуто модель, яка описує нелінійну динаміку пучка заряджених частинок у зондоформувальних системах магнітних і електростатичних квадрупольних лінз, ця модель враховує всі власні та паразитні аберації до третього порядку включно. Визначено межову роздільну здатність мультиплетів магнітних квадрупольних лінз з урахуванням паразитних компонент поля у наближенні рівномірного розподілу частинок пучка у почаковому фазовому об'ємі. Уперше розглянуто вплив збільшення кількості лінз на роздільну здатність. Визначено межово допустимі паразитні компоненти поля даних лінз, коли їх внесок до уширення пучків на мішені є значно меншим від впливу власних аберацій, що дозволило визначити вимоги стосовно допусків виготовлення магнітопроводів лінз. Уперше показано наявність оптимуму робочої відстані та відстані між прямокутними об'єктним і кутовим коліматорами, коли система формує пучок з максимальною густиною струму. Індекс рубрикатора НБУВ: В381.56,022
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА350680 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Автореферати дисертацій Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|