Литвин Ю. М. Дослідження електронних властивостей шаруватих структур з алмазо-подібними вуглецевими та оксидними плівками на кремнії : Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук : 01.04.07 / Ю. М. Литвин; НАН України. Ін-т фізики напівпровідників. - К., 2001. - 18 c. - укp.Встановлено та пояснено електронно-польові властивості шаруватих структур на основі кремнію, як основи кремнієвих вістрійних емітерних матриць. Виявлено явище резонансного туннелювання в структурах (Si - SiO2 - Si - SiO2 та Si - SiO2(Cs)) у діапазоні полів від 5 x 107 до 8 x 107 В/см. Проведено експериментальне та теоретичне дослідження параметрів емісійного струму залежно від товщин бар'єрів і квантової ями. Виявлено електронну польову емісію (ЕПЕ) та залежність фізичних властивостей алмазо-подібної вуглецевої плівки (АПВ) від вмісту азоту в суміші газів у процесі PE CVD осадження, зокрема, спостережено немонотонну залежність роботи виходу електронів у вакуум та порогової напруги ЕПЕ від вмісту азоту. У випадку надтонких АПВ плівок (8 нм) експериментально виявлено явище резонансної польової емісії за умов появи квантової ями на межі розподілу АПВ плівка - вакуум. Вивчено особливості ЕПЕ з вістрійних матриць, сформованих шляхом лазерної рекристалізації кремнію та покритих у процесі формування нанокомпозитними плівками SixOy(Si). Виявлено явище резонансного тунелювання носіїв з таких структур, сформованих за певних технологічних умов. Індекс рубрикатора НБУВ: В372.6,022
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА315130 Пошук видання у каталогах НБУВ
Повний текст Автореферати дисертацій Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|