Досліджено модифікацію складу та властивостей приповерхневих шарів напівпровідникового матеріалу та явищ у складній гетерогенній системі. Розглянуто систему, газова фаза якої утворюється під дією розряду високої частоти у суміші молекул водню та води. Встановлено, що зміни у складі фосфіду індію можуть розвиватися у двох напрямках: утворення на поверхні металевого шару індію та збагачення приповерхневих шарів киснем. Напрямок розвитку залежить від співвідношення молекул водню з атомами напівпровідника, він стимулює сублімацію молекул P₂ і підсилює дифузію атомів кисню у приповерхневих шарах. Доведено, що електрофізичні характеристики металевого шару індію є омічними. Розроблено методики та алгоритми, які дозволяють застосовувати для моделювання складних систем типу "газ - напівпровідник" із локальним зовнішнім збудженням метод рівноважної термодинаміки, що полягає у пошуку екстремальних значень функціоналів термодинамічних функцій.

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Горбенко Віталій Іванович (фізико-математичні науки)
• Горбенко Віталій Іванович (фізико-математичні науки)
• Горбенко Володимир Іванович (філософські науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"