Проведено експериментальні дослідження впливу активного ультразвуку на систему структурних дефектів модельних монокристалів (лужно-галоїдні речовини) та матеріалів мікроелектронної техніки: кремнію та ніобату літію. Спостережено гістерезис поглинання ультразвуку у разі малих допорогових амплітуд ультразвуку в лужно-галоїдних кристалах. На базі еспериментальних досліджень визначено, що стимульована ультразвукова акустична емісія в лужно-галоїдних кристалах виникає за умов певних дискретних частот збуджуючої акустичної емісії ультразвуку. Доведено, що дані дискретні частоти відповідають умовам формування стоячої хвилі у кристалі. Вивчено вплив ультразвукової обробки на рухливість коротких приповерхневих дислокацій у кристалах кремнію. Виявлено, що ультразвукова обробка кристалів кремнію призвела до зміни швидкості переміщення дислокацій за умов постійного механічного навантаження. Характер зміни швидкості дислокацій визначено знаком зовнішніх напруг, що діють на зразок, - стискальні зусилля призвели до зменшення в 2 - 2,5 рази, розтягувальні зусилля - до збільшення швидкості дислокацій у 2 - 2,5 рази. Після впливу на зразки кремнію ультразвукових коливань спостережено зменшення енергії активації руху дислокацій з 2,02 eV до 1,76 eV. Відзначено збільшення електропластичного ефекту, приблизно вдвічі. Вперше виявлено зміцнення поверхні бездислокаційного кремнію за умов дії ультразвуку, пов'язане з утворенням вакансійних кластерів і комплексів точкових дефектів у приповерхневому шарі зразка кремнію. У резонаторах із ніобату літію під час ультразвукового навантаження виникла акустична емісія за наявності ультразвукових

• Надточій Андрій Борисович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"