Розроблено математичні моделі розподілу домішок у монокристалах кремнію, що грунтуються на рівнянні балансу маси домішки, передбачають урахування залежності розподілу домішок від технологічних факторів процесу вирощування та не використовують фізичні параметри, які не можна виміряти за умов промислового виробництва монокристалів. З застосуванням розроблених моделей за експериментальними даними оцінено величини ефективних коефіцієнтів розподілу легувальних (бору, фосфору) і фонових (вуглецю та кисню) домішок, швидкостей надходження та розплав вуглецю та кисню з конструктивних елементів робочої камери та розчинення кварцу тигля у розплаві кремнію. Досліджено залежності цих величин, а також густини та розподілу мікродефектів від концентрації домішок і технологічних параметрів процесу вирощування монокристалів кремнію за промислових умов.

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Головко Юрій Викторович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"