За допомогою рентгенівських методів досліджено структури та напружений стан конденсатів Ti, W, Ti - N, Cr - N, Ti - Cr - N товщиною <$E1~ symbol Ш ~10 sub 4 roman нм>, одержаних за різних параметрів осадження магнетронним та вакуумно-дуговим способом. Розроблено методику вивчення напруженого стану монокристалічних та текстурованих матеріалів з гексагональною решіткою, яка дозволяє одночасно встановити значення макронапружень (<$Esigma sub 1 ,~ sigma sub 2>) та параметри кристалічної решітки, що відповідають ненапруженому стану (<$Ea sub 0 ,~ c sub 0>). Виявлено високі стискальні напруження (<$E0,5~ symbol Ш ~5 roman ГПа>), які неоднорідно розподілені по товщині іонно-плазмових плівок, та збільшені, у порівнянні з табличними, параметри решітки. Встановлено зв'язок між напруженим станом, процесом релаксації пружних спотворень решітки та формуванням текстури. Проаналізовано вплив середньої енергії частинок, що осаджуються, на рівень залишкових напружень у плівках. Уточнено уявлення про механізм формування залишкових напружень в іонно-плазмових конденсатах. Основні результати дослідження рекомендовано використовувати для оптимізації технології одержання плівок з заданими властивостями.

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Решетняк Олена Марківна (соціологічні науки)
• Решетняк Олена Миколаївна (фізико-математичні науки)
• Решетняк Ольга Михайлівна (медичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"