Решетняк О. М. Напружений стан та структура іонно-плазмових конденсатів з гексагональною та кубічною решіткою : Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук : 01.04.07 / О. М. Решетняк; Харк. нац. ун-т ім. В.Н.Каразіна. - Х., 2004. - 20 c. - укp.За допомогою рентгенівських методів досліджено структури та напружений стан конденсатів Ti, W, Ti - N, Cr - N, Ti - Cr - N товщиною <$E1~ symbol Ш ~10 sub 4 roman нм>, одержаних за різних параметрів осадження магнетронним та вакуумно-дуговим способом. Розроблено методику вивчення напруженого стану монокристалічних та текстурованих матеріалів з гексагональною решіткою, яка дозволяє одночасно встановити значення макронапружень (<$Esigma sub 1 ,~ sigma sub 2>) та параметри кристалічної решітки, що відповідають ненапруженому стану (<$Ea sub 0 ,~ c sub 0>). Виявлено високі стискальні напруження (<$E0,5~ symbol Ш ~5 roman ГПа>), які неоднорідно розподілені по товщині іонно-плазмових плівок, та збільшені, у порівнянні з табличними, параметри решітки. Встановлено зв'язок між напруженим станом, процесом релаксації пружних спотворень решітки та формуванням текстури. Проаналізовано вплив середньої енергії частинок, що осаджуються, на рівень залишкових напружень у плівках. Уточнено уявлення про механізм формування залишкових напружень в іонно-плазмових конденсатах. Основні результати дослідження рекомендовано використовувати для оптимізації технології одержання плівок з заданими властивостями. Індекс рубрикатора НБУВ: В372.6,022 + В372.134,022
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА330752 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Автореферати дисертацій Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|