Досліджено механізми формування структури іонно-плазмових конденсатів вольфраму та карбіду вольфраму, а також її термічну стійкість у широкому температурному інтервалі 300 - 1500 К. Проаналізовано вплив основних параметрів осадження з іонно-плазмових потоків (густина потоку часток, що осаджуються, температура підкладки, робочий тиск) на формування фазового складу, структури та напруженого стану конденсатів. Встановлено загальні результати для іонно-плазмових методів нанесення покриттів. Показано, що фаза beta-WC, сформована шляхом магнетронного розпилення, є термічно стабільною до температури 970 - 1020 К, вище за яку відбувається фазовий перехід за зсувним механізмом з утворенням термодинамічно рівноважних фаз. За стехіометричного складу beta-WC фази відбувається прямий beta-WC -> alpha-WC фазовий перехід. Збільшення густоти потоку часток (більше, ніж на 3 ^. 10¹⁵ см^-2с^-1) або температури підкладки (понад 725 К) у процесі осадження призводить до утворення текстурованої нестехіометричної beta-WC фази зі зменшеним вмістом вуглецю в кристалічній гратці. У ході відпалювання відбувається фазове перетворення beta-WC -> alpha - W₂C, яке здійснюється шляхом утворення дефектів пакування та супроводжується зменшенням високих стискаючих напружень гратки beta-WC.

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Соболь Олена Анатоліївна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"