Петренко Т. Т. Парамагнітні дефекти в оксидах кремнію з нанокристалітами та карбіді кремнію p-типу : Автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук : 01.04.07 / Т. Т. Петренко; НАН України. Ін-т фізики напівпровідників ім. В.Є.Лашкарьова. - К., 2004. - 17 c. - укp.Досліджено парамагнітні дефекти в імплантованих шарах оксидів кремнію, плівках <$Eroman SiO sub x> та опроміненому електронами 6H-SiC p-типу. Ідентифіковано ряд парамагнітних дефектів у шарах <$Eroman SiO sub 2>, імплантованих іонами <$Eroman Si sup +> та <$Eroman Ge sup +>, та у плівках <$Eroman SiO sub x>. Визначено характер структурних перетворень, які відбуваються в цих зразках у процесі відпалу в температурному діапазоні <$E100~-~1 1000~ symbol Р roman C>. Під час вивчення імплантованих структур <$Eroman Si/SiO sub 2> вперше спостерігались парамагнітні дефекти, пов'язані з надлишком атомів Si в матриці <$Eroman SiO sub 2>, та центри, пов'язані з атомами Ge, розташованими у вузлах гратки <$Eroman SiO sub 2>. У випадку <$Eroman SiO sub x> плівок вперше зафіксовано парамагнітні дефекти на інтерфейсі <$Eroman SiO sub 2> з кремнієвими нанокристалітами. У температурному діапазоні 4 - 300 К визначено параметри спін-гамільтоніану трьох основних центрів Ку1, Ку2 та Ку3, які спостерігаються у кристалах 6H-SiC p-типу, опромінених електронами. Дослідження за допомогою методу електронного парамагнітного резонансу під час вивчення радіаційних центрів у карбіді кремнію проводилось одночасно з теоретичними розрахунками електронної структури та надтонких параметрів дефектів, які грунтуються на теорії функціоналу густини. Порівняння розрахованих з перших принципів надтонких параметрів з експериментально визначеними величинами дозволяє ідентифікувати ці дефекти як позитивно заряджену вакансію вуглецю в нееквівалентних положеннях гратки 6H-SiC. На базі розрахунків відомі дефекти Т5 та Е13 ідентифіковано відповідно як Індекс рубрикатора НБУВ: В379.222,022 + В371.273,022
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА328823 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Автореферати дисертацій Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|