Проведені комплексні рентгенодифракційні дослідження структурних змін і величин деформацій в приповерхневих шарах кристалу кремнію при імплантації іонів фосфору з енергією 180 КеВ і дозою порядка 10¹⁵ іон/см². Здійснено аналіз розмірів і концентрацій дислокаційних петель до і після відпалу. Побудовано експериментальні і теоретичні профілі розподілу напруг в імплантованих іонами фосфору приповерхневих шарах кремнію. На основі проведених досліджень виявлено поліруючу дію травлення іонами фосфору в атмосфері аргонної плазми і селективну в умовах тліючого високочастотного ртутного розряду. Визначені оптимальні значення прискорюючої напруги при іонному травленні структур Сd_1-xНg_xТе/СdТе.

• Євдокименко Андрій Валерійович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"