Розглянуто питання дослідження, проектування й оптимізації технологічного процесу лазерного розподілу напівпровідникових пластин на елементи. Розроблено оригінальну методику визначення температурних залежностей оптичних властивостей матеріалів, що базується на застосуванні засобів нелінійного програмування, причому в якості функції цілі було використано min квадрата різниці між розрахованою потужністю і потужністю пучка лазерного випромінювання, що пройшла наскрізь зразок та була виміряна приймачем у відповідний момент часу з одночасною фіксацією потужності пучка випромінювання, надійшла до деталі, яка обробляється, і відбилась від неї. У якості рівняння зв'язку було використано нелінійне, нестаціонарне, з урахуванням фазових перетворень, одномірне рівняння теплопровідності, що розв'язувалось методом прогонки. За допомогою розробленої методики визначено залежності коефіцієнтів відбивання та поглинання моно- і полікристалічного кремнію від температури (довжина хвилі випромінювання - 1,06 мкм). Доведено, що за високих густин енергії сфокусованого лазерного випромінювання відбувається нівелювання впливу оптичних властивостей поля та монокристалів на результат нагрівання.

 Автореферати дисертацій 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"