Лісовський І. П. Структурні перетворення в поверхневих шарах кремнієвої та кремній-кисневої фази : Автореф. дис... д-ра фіз.-мат. наук : 01.04.10 / І. П. Лісовський; НАН України. Ін-т фізики напівпровідників. - К., 1999. - 30 c. - укp. - рус.Дисертацію присвячено вивченню фізичних механізмів структурних перетворень в областях склоподібної кремній-кисневої фази, що обумовлені зміною структурного стану кисню як на рівні створення точкових дефектів, так і в масштабах перебудови кілець SiO4 тетраедрів або молекулярних кремній-кисневих комплексів. Ефекти, пов'язані із створенням електроактивних центрів, стимулювались інжекцією електронів або сильними локальними електричними полями. Масштабна структурна перебудова вивчалась на початковому етапі термічного окислення кремнію, при імплантації кисню в кремній з наступним високотемпературним відпалом та при іонному бомбардуванні плівок оксиду. Розроблено новий метод характеризації структурного стану кисню в аморфній Si - O фазі. Запропоновано та обгрунтовано моделі фізичних механізмів процесів зміни структурного стану кисню. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.222,022
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА305085 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Автореферати дисертацій Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|