Удосконалено технологію вирощування зливків кремнію з рівномірним розподілом кисню по довжині шляхом програмування технологічних параметрів. Одержано залежність вмісту та розподілу кисню від параметрів технологічного процесу (швидкості росту, частоти обертання та діаметра тигля). Визначено оптимальні послідовності технологічних процесів та параметрів вирощування зливків із заданою концентрацією кисню та нерівномірністю його розподілу за довжиною монокристала, що не перевищує <$Esymbol С ~1,5~ cdot ~10 sup 17 ~ roman см sup -3> (частота обертання зливка - <$E19~ symbol С ~05~ roman об"/"хв>; швидкість вирощування зливка - <$E4~ symbol С ~1~ roman мм"/"хв> для стадії затравлення, <$E4~ symbol С ~0,1~ roman мм"/"хв> - для стадії розширення, <$E1,2~ symbol С ~0,3~ roman мм"/"хв> - на стадії вирощування циліндра; частота обертання тигля - <$E15~ symbol С ~0,5~ roman мм"/"хв> на стадії затравлення; зниження частоти обертання до <$E4~ symbol С ~0,1~ roman об"/"хв> на стадії розширення, підтримання цієї частоти до довжини зливка 200 мм, поступове підняття з 4 до <$E8~ symbol С ~01~ roman об/хв> до кінця вирощування циліндричності частини). Запропоновано метод контролю діаметра зливка монокристалічного кремнію різної кристалографічної орієнтації на всіх стадіях вирощування, який забезпечує точність контролю <$Esymbol С ~1~ roman мм>. Науково обгрунтовано та практично реалізовано концепцію застосування розподіленої системи автоматичного вирощування зливків та основні елементи, що забезпечують вирощування зливків з відхиленням за діаметром <$Esymbol С ~1,5~ roman мм> і концентрацією оптично активного кисню

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Притчин Сергій Емільович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"