Досліджено механізм процесу росту нітридних плівок на кристалічних підкладках, одержаних за методом іонної імплантації (ІІ), які задовільно узгоджуються з експериментальними даними стосовно кінетики росту плівок. На підставі порівняльного аналізу результатів показано відмінність у структурі, фазовому складі, кінетиці росту та властивостях нітридних плівок на підкладках Si, Ni, Mo, W, Ti і Ta за використання методів напилювання ІІ, конденсації з іонним бомбардуванням (КІБ) і ВЧМР. Шляхом підбору режимів напилювання ІІ та КІБ одержано двошарові плівки, які містять нітрид матеріалу підкладки та нітрид і оксид титану (<$Eroman {Si sub 3 N sub 4 "/"TiO sub 2 }> і <$Eroman {W sub 2 N"/"TiN}>, які мають високу твердість і корозійну стійкість. Визначено структурно-фазовий стан, кінетику росту та властивості нітридних плівок у системах W - N, Mo - N і Ni - N. Установлено істотне підвищення (у 2 - 10 разів) адгезії нітридних плівок, одержаних з використанням методів ІІ та КІБ у порівнянні з плівками, отриманими за ВЧМР. Здійснено оцінку гетероепітаксійної температури у системах Si - AlN, Si - TiN.

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Кляхіна Наталія Панасівна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"