Установлено загальні закономірності та виявлено найважливіші фізичні фактори, які впливають на формування складу та структури тонких плівок, що використовуються під час виготовлення надвеликих інтегральних схем (НВІС) на основі кремнію та сполук <$Eroman {A sup 3 B sup 5 }>. Розв'язано важливу фізико-технологічну проблему твердотільної електроніки, що дозволяє вибирати оптимальний метод одержання наношарів і структур на їх основі з необхідними характеристиками. Показано, що умовами, які визначають повну керованість властивостями плівок, є атомарний склад і регульована енергія частинок, які бомбардують поверхню росту. Одержані результати дозволяють прогнозувати характеристики плівок та наноструктур на їх основі та усвідомлено підходити до їх керування. Досліджено вплив конструкторсько-технологічних та експлуатаційних чинників на топологію наноелементів, обгрунтовано їх застосування під час виготовлення НВІС. Розв'язано проблему твердотільної інтеграції кремнієвих і арсенід галієвих технологій та створення на їх основі принципово нових приладів для реєстрації, обробки та передачі інформації.

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Вербицький Володимир Григорович (технічні науки)
• Вербицький Валерій Григорович (філософські науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"