Досліджено хімічну взаємодію монокристалів CdTe і твердих розчинів <$Eroman Zn sub x roman Cd sub {1~-~x } roman Te> та <$Eroman Cd sub x roman Hg sub {1~-~x } roman Te> з йодовмісними (<$Eroman {I sub 2 ~-~CH sub 3 OH,~I sub 2 }>-диметилформамід) та йодвидільними розчинами систем <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HI}>-органічна кислота, розроблено методики та режими модифікації поверхні даних напівпровідникових матеріалів. З використанням математичного планування експерименту побудовано діаграми Гіббса для розчинення вказаних напівпровідників у досліджуваних системах розчинів у разі використання оксалатної, 40 %-ої та 80 %-ої лактатної, тартратної та цитратної кислот. Досліджено кінетичні закономірності процесу розчинення напівпровідникових матеріалів типу <$Eroman {A sup III B sup VI }> в йодовмісних розчинах двох бінарних систем <$Eroman {I sub 2 ~-~CH sub 3 OH,~I sub 2 }>-диметилформамід, в йодовидільних розчинах бінарної системи <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HI}> і п'яти потрійних систем <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HI}>-органічна кислота. Визначено концентраційні межі існування областей полірувальних і неполірувальних розчинів у кожній з досліджуваних систем. Встановлено, що поступова заміна оксалатної на 40 %-у лактатну, 80 %-у лактатну, тартратну або цитратну кислоту в травильних розчинах потрійних систем <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HI}>-органічна кислота призводить до значного підвищення їх полірувальної здатності, покращання якості отримуваної поверхні вказаних матеріалів у разі незначної зміни діапазону швидкості травлення (від 1 до 25 мкм/хв). Методом електронно-зондового мікроаналізу поверхні

• Гуменюк Оксана Романівна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"