Каземірський Т. А. Високороздільна Х-променева дифрактометрія структурних порушень у приповерхневих шарах Si та кристаличних з'єднань CdHgTe, YLaFeO після іонної імплантації : автореф. дис... канд. фіз.-мат. наук : 01.04.07 / Т. А. Каземірський; Чернів. нац. ун-т ім. Ю.Федьковича. - Чернівці, 2009. - 20 c. - укp.Наведено результати X-променевих структурних досліджень приповерхневих областей варізонних структур (III) <$E{Eroman Hg} sub {1~-~x } {roman Cd} sub x roman Te"/"CdTe> (x = 0,21) та (110) <$E{roman Hg} sub {1~-~x } {roman Cd} sub x roman Te"/"CdTe> (x = 0,23), одержаних високотемпературним відпалом епітаксійних шарів <$E{roman Hg} sub {1~-~x } {roman Cd} sub x roman Te> у парах основних компонент і в які імплантовано іони арсену. Встановлено, що на морфологію поверхонь <$E{roman Hg} sub {1~-~x } {roman Cd} sub x roman Te> структур, одержаних за однакових умов, суттєво впливає кристалічна орієнтація вихідних підкладок CdTe. Виявлено суттєве збільшення молярного складу твердого розчину <$E{roman Hg} sub {1~-~x } {roman Cd} sub x roman Te > на поверхні іонно-імлантованих епітаксійних шарів після високотемпературної обробки. Запропоновано модель системи домінуючих структурних дефектів у модифікованих хімічним травленням та іонною імплантацією приповерхневих шарах кремнію. У даній моделі враховано наявність відповідних розмірів і концентрацій сферичних і дископодібних кластерних утворень, дислокаційних петель і ступеня пористості поверхневих шарів. За допомогою методу вибору відповідних моделей дефектної структури, які містять декілька типів домінуючих мікродефектів і певним способом розподіленого порушеного поверхневого шару визначено хід структурних перетворень після опромінення високими дозами іонів азоту епітаксійних плівок <$Eroman {Y sub 2,95 La sub 0,05 Fe sub 5 O sub 12 }>. За даними АСМ досліджень найбільші зміни рельєфу поверхні зафіксовано на плівці, опроміненій найбільшою дозою іонів, зокрема, виявлено характерні локальні розупорядковані області з перепадом висот до 20 нм і середніми розмірами ~0,15 мкм. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.24,022 + В379.225,022
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА367224 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Автореферати дисертацій Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|