Досліджено закономірності зміни структурних, електричних і оптичних властивостей плівок ZnO внаслідок варіювання умов осадження, легування донорними домішками та післяростового відпалу. Встановлено покращання структурної досконалості плівок. Показано, що застосування гомоепітаксійного буферного шару ZnO між підкладкою та основною плівкою забезпечує зменшення напруг у плівці та покращання її люмінесцентних властивостей. Наявність водню в плівках ZnO не впливає на їх структуру та морфологію поверхні, однак, спричиняє значну зміну спектра люмінесценції - посилення інтенсивності екситонної емісії та ефективне пригнічення дефектної люмінесценції. На пракладі плівок ZnO проаналізовано переваги методу хімічного осадження з парової фази, застосування металоорганічних сполук як вихідних речовин та позитивний ефект використання плазмового розряду. Зазначено, що процес металоорганічного хімічного осадження з парової фази, підсилений плазмою, є перспективним для низькотемпературного вирощування плівок ZnO, а також використання їх як активного матеріалу в світловипромінювальних пристроях.

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Храновський Володимир Дмитрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"