Висвітлено основні принципи та напрями розвитку мікроелектроніки. Наведено загальну характеристику та класифікацію мікроелектронних виробів. Розкрито фізико-хімічні основи та технологію виготовлення напівпровідникових і гібридних інтегральних мікросхем (ІМС). Подано інформацію про структуру та фізико-механічні властивості твердих тіл, структуру ідеальних кристалів, елементи квантової механіки та фізичної статистики, термоелектронну емісію, когерентне випромінювання, іонне легування напівпровідників.

• Павлов Сергій Миколайович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"