Наведено результати теоретичного й експериментального дослідження дії атомарного водню на параметри тонкоплівкових структур. Висвітлено проблеми розвитку технології радикалорекомбінаційної обробки поверхні твердого тіла. Розглянуто фізичні основи методів плазмохімічної, плазмоворадикальної та водневої обробки поверхні твердого тіла. Описано електричні, фізичні, електрофізичні методи дослідження параметрів плівкових мікроструктур. Охарактеризовано фізичні процеси, що проходять під час взаємодії атомарного водню з поверхнею твердого тіла, зокрема, розпилення, стимулювання дифузійних процесів в приповерхневих шарах, дефектоутворення і модифікації поверхні, зміни структури металевих плівок. Наведено результати експериментального дослідження взаємодії атомарного водню з гетероструктурами на основі тонких плівок Cu, Ni, Ag, Au, In.

• Матюшин Володимир Михайлович (фізико-математичні науки)
• Жавжаров Євген Леонідович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"