Вивчено основні плазмодинамічні й електрофізичні властивості плазмодинамічного підходу, які підтвердили висновки запропонованої теоретичної моделі магнетронного розряду. У межах модифікованої моделі С. Берга показано значний вплив поверхневої рухливості атомів у плівках осадження на характер перебігу процесу реактивного магнетронного напилення. Наведено результати дослідження емісійного оптичного спектра плазми циліндричного технологічного магнетрона оберненого типу та проаналізовано основні фізичні процеси, які визначають характер випромінення атомів у різноманітних режимах розряду: в режимі синтезу плівок титану та його бінарних сполук.

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Євсюков Антон Миколайович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"