Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000316854<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Кравченко С. Ю. Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електрон. інформ.-енерг. технології. - 2011. - № 1. - С. 127-135. - Бібліогр.: 23 назв. - укp.Розглянуто питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовано принципи побудови таких систем та перспективи їх використання за технологічних умов. Індекс рубрикатора НБУВ: Г595 + Ж624
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж23882 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|