Розглянуто структуру та принцип дії, характеристики мікромеханічних перетворювачів тиску, які побудовані за сучасними MEMS-технологіями. Проаналізовано математичну модель процесу перетворення з урахуванням сумарної похибки вимірювання тиску. Розглянуто складові сумарної похибки вимірювання та її математичну модель. Надано опис та результати експериментального дослідження характеристик реального барометричного перетворювача тиску за стабільних умов та за впливу зміни температури зовнішнього середовища.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Ларін Віталій Юрійович (1970–) (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"