Барчук О. И. Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света / О. И. Барчук, К. С. Биленко, А. А. Голобородько, В. Н. Курашов, Е. А. Оберемок, С. Н. Савенков // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2009. - 7, вип. 2. - С. 421-431. - Библиогр.: 13 назв. - рус.Рассмотрены оптические характеристики сложных многослойных систем на основе кремния. Исследовано влияние структуры поликристаллических пленок с наноразмерными особенностями на характер угловых зависимостей коэффициентов отражения <$E R sub p> и <$E R sub s>. Показано, что для интерпретации полученных экспериментальных результатов во многих случаях можно использовать модель многократного рассеяния для слоистых структур. При расчетах необходимо учитывать поглощение в таких средах и усреднение по апертуре фотодетектора. Компьютерное моделирование показало, что наличие на подложке слоя окислителя существенно меняет характер зависимостей для коэффициентов отражения. Наличие дополнительных экстремумов в вышеуказанных зависимостях связано с существованием интерферирующих волн, отраженных от границ с различными показателями преломления для системы воздух - поликристаллическая пленка - окислитель - подложка. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.24
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|