Показано, что результат квазиравновесной конденсации в накопительной системе плазма - конденсат зависит от стационарности технологического процесса, которая в общем случае определяется постоянством пересыщения, морфологией и кристаллографическим строением ростовой поверхности, а также разбросом энергии распыленных атомов. На основании модельных представлений с использованием метода Монте-Карло установлен эффект усреднения энергии распыленных атомов при их движении в плазме повышенного давления. На основании экспериментальных результатов, связанных с получением конденсатов алюминия вблизи термодинамического равновесия, установлено снижение дисперсности пленок при повышении давления рабочего газа свыше 2,4 Па, что подтверждает стационарность технологического процесса.

• Перекрестов Вячеслав Іванович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"