Мокренко А. А. Влияние усреднения энергии распыленных атомов на стационарность квазиравновесной конденсации / А. А. Мокренко, Ю. А. Косминская, В. И. Перекрестов // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2010. - 2, № 3. - С. 40-53. - Библиогр.: 21 назв. - рус.Показано, что результат квазиравновесной конденсации в накопительной системе плазма - конденсат зависит от стационарности технологического процесса, которая в общем случае определяется постоянством пересыщения, морфологией и кристаллографическим строением ростовой поверхности, а также разбросом энергии распыленных атомов. На основании модельных представлений с использованием метода Монте-Карло установлен эффект усреднения энергии распыленных атомов при их движении в плазме повышенного давления. На основании экспериментальных результатов, связанных с получением конденсатов алюминия вблизи термодинамического равновесия, установлено снижение дисперсности пленок при повышении давления рабочего газа свыше 2,4 Па, что подтверждает стационарность технологического процесса. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.030.022
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|