За допомогою методів ІЧ-спектроскопії та фотолюмінесценції досліджено вплив травлення парами HF оксидної матриці поруватих нанокомпозитних <$E roman Si "/" {roman SiO} sub x> структур. Структури отримували термічним осадженням монооксиду кремнію у вакуумі під кутом 60<$E symbol Р> на c-Si підкладці з подальшим відпалом при 975 <$E symbol Р>С. Показано, що обробка у парах HF приводить до значного зменшення об'єму плівки і часткового доокислення її поверхні, а також до появи у плівці комплексів <$E roman {O sub 3 SiH}> та <$E roman {O sub 2 SiF sub 2}>. На поверхні нановключень кремнію з'являються комплекси <$E roman {Si sub 3 SiF}>. Одночасно спостерігають суттєвий (до 210 нм) зсув максимуму випромінювання з інфрачервоного у видимий діапазон спектра, а також значне (до 200 разів) збільшення інтенсивності люмінесценції. Ці ефекти можна пояснити процесом модифікування структурно-домішкового стану межі поділу нановключення <$E roman {Si~-~SiO sub x}> в результаті дії травника на порувату плівку. Інтенсивність світловипромінювання зростає внаслідок пасивації обірваних зв'язків кремнію на межі поділу нановключення <$E roman {Si~-~SiO sub x}> атомами кисню та атомами фтору. Оксидування поверхні кремнієвих нановключень зменшує їх розмір, що проявляється у короткохвильовому зсуві спектрів ФЛ.

• Данько Віктор Андрійович (фізико-математичні науки)
• Злобін Сергій Олександрович (фізико-математичні науки)
• Індутний Іван Захарович (1949–) (фізико-математичні науки)
• Лісовський Ігор Петрович (1947–) (фізико-математичні науки)
• Литовченко Володимир Григорович (1931–2021) (фізико-математичні науки)
• Михайловська Катерина Василівна (політичні науки)
• Михайловська Катерина Василівна (фізико-математичні науки)
• Шепелявий Петро Євгенович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"