Долгов А. С. Геометрические эффекты в процессе плазменного напыления на поверхности / А. С. Долгов, А. Л. Лорент // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2011. - 3, № 2. - С. 59-69. - Библиогр.: 14 назв. - рус.Рассмотрена роль широко распространенных геометрических особенностей детали и потока частиц на эффективность осаждения, и даны соответствующие рекомендации. На основе принятой аппроксимированной схемы с отрицательной кривизной определено выражение, описывающее осаждение на единицу поверхности при постоянной частоте вращения элемента поверхности. Приведены значения осаждения для различных вариантов кривизны. Рассмотрено значение расходимости потока частиц, свойственной общей картине осаждения, в качестве фактора, компенсирующего неоднородность осаждения на участке отрицательной кривизны. Выявлено, что сильная зависимость вероятности осаждения от угла бомбардировки поверхности приводит к снижению общего уровня осаждения для разных, почти противоположных форм. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж671
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|