Проведено багатокутові еліпсометричні виміри у видній області спектра на діелектричних плівках, одержаних на кварцовому склі розпиленням матеріалу електронним пучком. Показано, що виміряна еліпсометрична функція описується двошаровою системою, яка включає основний шар і перехідний шар на його поверхні. Знайдено показники заломлення та товщини шарів. Внутрішній шар має більший показник заломлення, ніж зовнішній, однаковий для обох досліджених плівок. Товщина зовнішнього шару перебуває у межах 15 - 20 нм. Припущено, що зовнішній шар утворений вершинами стовпчиків, які утворюють внутрішній шар.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"