Круковський С. І. Епітаксійні шари GaAs, отримані газофазною хлоридною епітаксією з використанням галієвого джерела, легованого ітербієм / С. І. Круковський, Д. М. Заячук, І. О. Мрихін, Ю. С. Михащук // Фізика і хімія твердого тіла. - 2009. - 10, № 3. - С. 594-597. - Бібліогр.: 6 назв. - укp.Розглянуто один із способів покращання параметрів шарів GaAs, одержаних за допомогою методу газотранспортних реакцій в системі Ga - AsCl3 - H2, який базується на використанні галієвого джерела з додаванням ітербію, попередньо відпаленого за високих температур в атмосфері високочистого водню. Досліджені особливості нарощування шарів GaAs показали, що цей спосіб можна використовувати за оптимально підібраних концентрацій ітербію в галієвому джерелі для відтворюваного нарощування епітаксійних шарів із високою рухливістю електронів. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + В379.2
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|