Предложен принципиально новый подход к реализации измерительного преобразователя (ИП) давления, основным отличием которого является использование режима ударного возбуждения электростатического MEMS-преобразователя. Разработан алгоритм построения градуировочных характеристик и предложена модель ИП давления на базе теории преобразователей А. А. Харкевича с учетом демпфирования за счет пленки газа в межэлектродном зазоре. Смоделирован сигнал на выходе ИП давления, проведена его обработка с помощью предложенной модели, получены градуировочные характеристики. Установлены зависимости влияния конструктивных параметров ИП на градуировочные характеристики.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"