Возный В. И. Ионный инжектор полевого типа / В. И. Возный, В. Е. Сторижко, В. И. Мирошниченко, В. В. Токмань, Е. А. Миронец, Е. А. Батура // Наука та інновації. - 2010. - 6, № 5. - С. 72-76. - Библиогр.: 14 назв. - рус.To improve the spatial resolution of FIB systems, field type ion injector has been developed. Measurements of the injector parameters are performed on the high-vacuum stand with a residual pressure about <$E 5~cdot~10 sup -7> Pa. Ion injector consists of a needle-in-capillary type gas field ion source, focusing einzel lens and compact Wien filter with permanent magnets. The field ion source design provides the possibility of cooling the tungsten needle to a liquid nitrogen temperature. Current-voltage characteristics of the ion source operating at room temperature have been measured. Ion field emission current up to <$E (1~-~5)~cdot~10 sup -12> A at 2 - 5 kV emission voltage is obtained. Індекс рубрикатора НБУВ: З565.5
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж25189 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|