Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000332754<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Батурин В. А. Масс-спектрометрическое исследование процессов ионного распыления при высоких энергиях первичных ионов / В. А. Батурин, С. А. Еремин // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2009. - 1, № 1. - С. 80-103. - Библиогр.: 45 назв. - рус.Рассмотрено масс-спектрометрическое исследование процессов ионного распыления в широком интервале энергий первичных ионов. С этой целью разработана конструкция масс-спектрометра вторичных нейтралей, которая в отличие от традиционных установок данного типа построена на базе ионного имплантера, генерирующего пучки ионов с энергией до 170 кэВ и плотностью тока на мишени до 1 мА/см<^>2. Проведено компьютерное моделирование траекторий электронов и положительных ионов в системе регистрации распыленных частиц и определены оптимальные параметры системы для трех режимов работы установки. Проведены исследования эмиссии распыленных нейтральных кластеров меди, а также процессов преимущественного распыления изотопов молибдена при различных параметрах пучка первичных ионов аргона. Індекс рубрикатора НБУВ: В381.105.5 в641 + В381.566 в641
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|