Борисов А. В. Нанокристаллические пленки оксида церия для биолюминесцентных сенсорных систем / А. В. Борисов, А. Н. Шмырева, Н. В. Максимчук // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2009. - 7, вип. 1. - С. 245-254. - Библиогр.: 13 назв. - рус.Изучены свойства нанокристаллических пленок оксида церия. Установлены основные закономерности их формирования в зависимости от технологических режимов вакуумного нанесения методом взрывного испарения и типа подложки с целью создания высокочувствительных фотоприемников. Морфология поверхности пленок CeOx исследована методом атомно-силовой микроскопии, а электронная структура пленок - рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. На фотоэлектронном спектре наблюдаются максимумы трех- и четырехвалентного Ce. Показано, что наибольшей фоточувствительностью в спектральном диапазоне 380 - 450 нм обладают нанокристаллические пленки со структурой Si/SiO2/CeOx, осажденные при температуре 200 <$E symbol Р>C, и пленки со структурой Si/Si3N4/CeOx с температурами осаждения 200 и 300 <$E symbol Р>C. Минимальным температурным коэффициентом сопротивления в области рабочих температур обладают пленки, нанесенные на подложку из SiOx при температуре 200 <$E symbol Р>C, - 0,36 %/град. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + В371.236
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|