Для потреб газової сенсорики зроблено спробу модифікувати поверхню кремнію прискореними зарядженими частинками, які утворюють треки. Досліджено вплив опромінення 6,8 МеВ протонами, 27,2 МеВ <$E alpha>-частинками та важкими іонами (<$E roman {nothing sup 40 Ar ,~nothing sup 131 Xe ,~nothing sup 209 Bi}>) на оптичні та адсорбційні властивості n-Si та SiO2/Si структур з нанопорами. Морфологію поверхні досліджено за допомогою методів сканувальної електронної мікроскопії та мікроскопії атомних сил. Оптичні константи (<$E n,~k>) зразків до та після опромінення визначено методом багатокутової монохроматичної еліпсометрії. Встановлено, що зміна оптичних констант зразків n-Si при опроміненні <$E p sup +> та <$E alpha>-частинками супроводжується збільшенням шорсткості поверхні та зумовлена деструкцією приповерхневого шару матеріалу. Опромінені структури виявили більшу чутливість щодо адсорбції молекул аміаку та ацетону. Показано, що оптичні константи SiO2/Si структур залежать від величини пористості матеріалу. Розраховано фактор заповнення матеріалу в шарі SiO2 в опромінених <$Enothing sup 131 roman Xe> та <$Enothing sup 209 roman Bi> структурах. Встановлено, що найбільш розвинена поверхня пор утворилась після опромінення іонами <$Enothing sup 209 roman Bi>. Відповідно найбільші зміни оптичних констант спостерігаються у зразках, опромінених вісмутом.

Індекс рубрикатора НБУВ: В371.236 + В379.227

Рубрики:

Радіаційні ефекти в напівпровідниках

Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Кондратенко Ольга Сергіївна (фізико-математичні науки)
• Хіврич Володимир Ілліч (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"