Петрушка А. І. Перспективи застосування мікроелектромеханічних систем (мікросхем на кристалі) структури "кремній-на-ізоляторі", побудованих на спеціалізованих базових матричних кристалах, в технології буріння / А. І. Петрушка, Т. М. Матвійків // Вісн. Нац. ун-ту "Львів. політехніка". - 2010. - № 680. - С. 161-164. - Бібліогр.: 7 назв. - укp.Проаналізовано перспективи застосування мікроелектромеханічних систем, побудованих на спеціалізованих базових матричних кристалах структури "кремній-на-ізоляторі", в технології глибокого та направленого буріння, яка характеризується наявністю високих температур, агресивних середовищ і значних механічних впливів. Індекс рубрикатора НБУВ: И131.12
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж29409/А Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|