Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000344016<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Євтушенко А. І. Перспективи створення ультрафіолетових фоторезисторів на основі плівок ZnO / А. І. Євтушенко, Г. В. Лашкарьов, В. Й. Лазоренко, Л. А. Косяченко, В. М. Склярчук // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2010. - № 3. - С. 55-60. - Бібліогр.: 10 назв. - укp.Нелеговані та леговані азотом плівки n-ZnO осаджено на Si та SiNx/Si підкладки за допомогою методу магнетронного розпилення. Для нанесення омічних In і Al контактів до ZnO застосовано методи термічного вакуумного осадження та стандартної LIFT-OFF літографії. Досліджено вплив кристалічної досконалості нелегованих плівок ZnO та величини міжконтактної відстані на фоточутливість і швидкодію фоторезисторів на їх основі. Для фоторезисторів на основі нелегованих плівок досягнуто кратність 24 за швидкодії порядку 10 хвилин. Фоторезистори, створені на основі легованих азотом плівок ZnO, продемонстрували фоточутливість з кратністю 250 за <$E lambda~=~90> нм і швидкодію зі сталою часу 10 мкс. Індекс рубрикатора НБУВ: З852
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|