Вольпян О. Д. Применение импульсного магнетронного распыления для получения оптических метапокрытий с продольным наноградиентом показателя преломления / О. Д. Вольпян, А. И. Кузьмичёв // Электроника и связь. - 2010. - № 2. - С. 28-33. - Библиогр.: 15 назв. - рус.Для решения насущных задач, стоящих перед оптикой и фотоникой, нужен новый класс материалов - метаматериалы, которые наиболее просто реализуются в виде тонкоплёночных метапокрытий. Предложена классификация оптических покрытий. Она включает наряду с известными многослойными интерференционными покрытиями со ступенчатым или градиентным изменением показателя преломления метапокрытия на основе фотонных кристаллов, композитные фотонные метапокрытия, содержащие наноразмерные включения с индуцированной электромагнитной реакцией и наноградиентные метапокрытия, в том числе наноградиентные композитные покрытия. Рассмотрен вопрос о размерности структур градиентных оптических покрытий. Обсуждена целесообразность применения магнетронного распыления для нанесения оптических метапокрытий. Показана перспективность технологии импульсного (среднечастотного) реакционного магнетронного распыления для получения покрытий с продольным наноградиентом показателя преломления, поскольку она обеспечивает практически абсолютную стабильность технологического процесса, эффективную энергетическую активацию процесса без дополнительного нагрева подложек и внешней ионной бомбардировки, высокую плотность и минимальную шероховатость покрытий, сплошность наносимых слоёв при весьма малой толщине. Описана магнетронная установка, разработанная для реализации данной технологии. Её эффективность была подтверждена на примере изготовления просветляющего наноградиентного покрытия с хорошими оптическими и эксплуатационными характеристиками для лазерной техники. Індекс рубрикатора НБУВ: З85-060.1/8
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж69367 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|