Рассмотрено применение пленок редкоземельных металлов (РЗМ) как материалов диффузионного барьера. В частности, изучана возможность стабилизации контактных систем за счет термодинамических свойств РЗМ как альтернативного материала для силицидов. Механизмы стабилизации и деградации как моноэлементных, так и составных пленок РЗМ (иттербия) в составе контактно-металлизационных систем исследованы методами резерфордовского обратного рассеяния, просвечивающей электронной микроскопии и рентгеновской дифрактометрии. Установлено, что из исследованных пар только пара Ti/Yb способна предотвращать образование оксидов Yb на поверхности раздела. Это позволяет использовать свойства Ti/Yb контакта для управления скоростью твердофазных реакций на границе Yb - GaAs. Использование контакта из Yb на GaAs со стабильными параметрами возможно исключительно через дополнительные слои типа диффузионных барьеров.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"