Бибиков Т. А. Принципы построения математических моделей микроэлектромеханических резонаторов балочного типа / Т. А. Бибиков, А. В. Богдан, О. Н. Петрищев, Ю. И. Якименко, Ю. Ю. Яновская // Электроника и связь. - 2010. - № 5. - С. 94-107. - Библиогр.: 8 назв. - рус.Сформулировано определение математической модели МЭМС-резонатора балочного типа. Изложены принципы моделирования физического состояния элементов МЭМС. Описана цепочка вычислительных процедур, опирающихся на фундаментальные положения механики и теории электрических явлений, последовательное выполнение которых позволяет построить математическую модель резонатора. Показано, что частотно зависимые свойства МЭМС-резонатора полностью определяются механическими смещениями материальных частиц поляризованного сегнетоэлектрика подвижной части стержня. Приведена методика расчета продольного компонента вектора смещения подвижной части МЭМС-резонатора, которая учитывает реакцию опор стержня. Індекс рубрикатора НБУВ: З845.7
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж69367 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|